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On appelle microsystèmes électromécaniques - microelectromechanical systems - ou Mems, des systèmes électromécaniques dont la taille varie de quelques microns à quelques dizaines de nanomètres. Les Mems intègrent généralement des éléments mécaniques couplés à des éléments électroniques, d'où leur dénomination. Ils jouent sur des phénomènes électromagnétiques, thermiques ou encore fluidiques.
Les premiers microsystèmes électromécaniques ont été mis au point dans les années 1970 et ont été mis sur le marché dans les années 1980. Ils sont aujourd'hui très présents dans notre vie quotidienne, par exemple dans les systèmes de déclenchement d'airbags, au cœur de la téléphonie, de l'automobileautomobile ou du médical.
Des capteurs Mems aux Mems spécialisés
Les microsystèmes électromécaniques que l'on appelle les capteurscapteurs Mems ont pour objectif de lier une déformation mécanique avec une variation électrique. C'est le cas des capteurs de pressioncapteurs de pression qui nous permettent de surveiller nos pneus ou encore des capteurs d'accélération qui commandent nos airbags.
Quelques termes dérivés désignent quant à eux des Mems un peu plus spécialisés et sophistiqués encore. Ainsi les Moems -- pour Micro-opto-electro-mechanical systems, comprenez Mems optiques -- permettent de manipuler une information lumineuse ou électromagnétique. On en trouve dans les vidéoprojecteurs notamment.
Les BioMems, quant à eux, intègrent des réseaux de microcanaux, lieux d'écoulements microfluidiquesmicrofluidiques. Ils permettent d'interagir avec le vivant, à l'échelle des protéinesprotéines -- quelques nanomètresnanomètres --, à l'échelle des cellules -- quelques dizaines de micromètresmicromètres -- ou à celle des tissus -- quelques millimètres.
